（interferometer），也稱(chēng)為(wéi)Michelson幹涉儀，它是一(yī)種(zhǒng)廣(guǎng)泛用於(yú)光(guāng)學測(cè)量和(hé)實驗的儀(yí)器。在Michelson幹(gān)涉儀中，光綫被(bèi)分成兩個路(lù)徑(jìng)，經(jīng)過(guò)兩個(gè)鏡子的反射(shè)後(hòu)再(zài)次合(hé)並。在合(hé)並(bìng)的地方，如果兩(liǎng)條光路(lù)之間存在(zài)相位差(chà)，則(zé)會出(chū)現(xiàn)幹(gān)涉條紋。通過測(cè)量這(zhè)些幹涉條紋的位置(zhì)和形(xíng)狀(zhuàng)，可以計(jì)算(suàn)出(chū)光綫(xiàn)的波長(cháng)，振幅(fú)，相位等(děng)參數。
Tablestable幹涉儀(yí)是(shì)一(yī)種高精度的(dí)Michelson幹(gān)涉(shè)儀，常(cháng)用於製造(zào)和檢測(cè)精(jīng)密光(guāng)學(xué)元件和係(xì)統。它采用(yòng)穩定(dìng)的平台和支(zhī)撐結構(gòu)，以確(què)保(bǎo)兩(liǎng)個光路(lù)之間的穩定(dìng)距離和準確對(duì)準。此外，Tablestable幹涉儀還配(pèi)備了(liǎo)高(gāo)精(jīng)度的(dí)控製(zhì)器和數據采集係統，以(yǐ)實現(xiàn)高精度(dù)的(dí)測量(liáng)和控(kòng)製(zhì)。
Tablestable幹涉儀(yí)在(zài)精密製造和測量(liáng)領域(yù)有著(zhuó)廣(guǎng)泛的應用，例(lì)如(rú)半(bàn)導(dǎo)體製造(zào)，光學(xué)元件製造，航空航天(tiān)製(zhì)造(zào)等(děng)。
描述(shù)
tablestable TFP-1光譜儀基(jī)於串聯3+3通道(dào)法(fǎ)布(bù)裏-涉儀(yí)布(bù)置。反射鏡間距可在(zài)0.1÷30 mm範(fàn)圍內(nèi)選(xuǎn)擇(zé)。反射鏡(jìng)通過(guò)壓電換能器(qì)在靜止位(wèi)置周(zhōu)圍掃描，最大(dà)可達(dá)約(yuē)2.5μm。
該(gāi)儀(yí)器主要用於研(yán)究布裏淵(yuān)光(guāng)譜，特別(bié)是擴展光譜範(fàn)圍內的許多或廣(guǎng)泛的(dí)特(tè)征。靈活性(xìng)使(shǐ)得拉(lā)曼光(guāng)譜(pǔ)（約(yuē)500厘米）-1）可以(yǐ)測量(liáng)。該(gāi)結構允(yǔn)許(xǔ)在輕(qīng)微(wēi)失去對準(zhǔn)的情況(kuàng)下(xià)改變(biàn)鏡(jìng)麵間距，因此(cǐ)可以在幾秒鐘內再次實現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)。
與環境(jìng)振動的(dí)隔離在高分(fēn)辨率幹涉(shè)測量中非常重(zhòng)要(yào)。幹涉儀將(jiāng)直(zhí)接測量小至1Å的反射鏡的相對(duì)運動。大(dà)至10Å的動(dòng)作會(huì)降低儀(yí)器的性能。這種運(yùn)動可能(néng)是(shì)由與(yǔ)建(jiàn)築振動(dòng)相(xiāng)關的加速度(dù)引起的結(jié)構非共振變形(xíng)引(yǐn)起(qǐ)的(dí)。在(zài)TFP-1光譜(pǔ)儀中，幹涉(shè)儀載物(wù)台(tái)安(ān)裝(zhuāng)在主(zhǔ)動(dòng)隔(gé)離係(xì)統AVI-35 LPR上(shàng)，基於定製(zhì)的TableStable隔振裝置。支(zhī)架(jià)直接固定在(zài)底板上(shàng)，底板(bǎn)本(běn)身應盡(jìn)可(kě)能牢(láo)固地固(gù)定(dìng)在地(dì)板(bǎn)上。采(cǎi)用這種(zhǒng)解(jiě)決方案，即(jí)使(shǐ)泵(bèng)直(zhí)接(jiē)安裝在光學(xué)工(gōng)作(zuò)台上也不會影響幹(gān)涉(shè)儀(yí)的運行。
該光譜(pǔ)儀包括一(yī)個(gè)基(jī)於雙快門(mén)係(xì)統(tǒng)LM2的(dí)自動穩定機製(zhì)，該(gāi)機製允(yǔn)許引(yǐn)入固定(dìng)參(cān)考(kǎo)光束進行穩定。使(shǐ)用(yòng)這種方(fāng)法(fǎ)，鏡(jìng)子(zǐ)的對(duì)準可(kě)以無(wú)限期(qī)地(dì)保持(chí)。
該(gāi)光譜儀配備了操(cāo)作所(suǒ)需的所有光(guāng)學元(yuán)件，在(zài)工(gōng)廠對齊(qí)並封裝在黑(hēi)色保護外殼(ké)中，安(ān)裝(zhuāng)在堅(jiān)固的(dí)鋁製底板上(shàng)，適合安(ān)裝在(zài)英(yīng)製和(hé)公(gōng)製(zhì)標準(zhǔn)光(guāng)學工作台上(shàng)。檢(jiǎn)測器(qì)可供選(xuǎn)擇，如(rú)下(xià)所述。光(guāng)譜儀(yí)的(dí)使用以及基本檢(jiǎn)查和對(duì)準(zhǔn)程序的初步說(shuō)明(míng)課(kè)程包(bāo)含在(zài)光譜(pǔ)儀的價(jià)格(gé)中。或者，該(gāi)設備(bèi)可(kě)以(yǐ)由經過培訓的TableStable/JRS人(rén)員(yuán)在(zài)現(xiàn)場安(ān)裝(zhuāng)。
儀器(qì)特點(diǎn)：
-在(zài)公(gōng)共平(píng)移台上串聯配(pèi)置(zhì)的(dí)兩個法布裏-珀羅(luó)腔的掃(sǎo)描組合(hé);每個(gè)幹(gān)涉儀上(shàng)的(dí)三(sān)通。
-標準反射(shè)鏡，扁平(píng)至(zhì)lambda/200並塗有高(gāo)抗(kàng)介(jiè)電塗(tú)層，可在(zài)480÷540 nm範圍(wéi)內使(shǐ)用。可根據要(yào)求提供不(bù)同波長的定製鍍(dù)膜。
-通過(guò)電(diàn)機控(kòng)製載(zǎi)物台(tái)，在30μm至30 mm範圍(wéi)內輕鬆更改鏡(jìng)麵間距，對準(zhǔn)損失(shī)極小(xiǎo)。後視(shì)鏡(jìng)間距(jù)可以通過千(qiān)分表直接讀取。
-平行四邊形平移(yí)台可(kě)防止掃描(miáo)過程中(zhōng)反(fǎn)射鏡傾斜。
-使(shǐ)用(yòng)電(diàn)容式傳(chuán)感(gǎn)器的(dí)反饋(kuì)回(huí)路提(tí)供(gōng)高度(dù)綫(xiàn)性的(dí)掃(sǎo)描。
-對溫度(dù)變(biàn)化保持穩(wěn)定(dìng)-不需要使(shǐ)用低膨(péng)脹(zhàng)材(cái)料進行結構(gòu)。
-兩(liǎng)個嵌入(rù)式主(zhǔ)動(dòng)隔振(zhèn)單元保證了幹涉(shè)儀反射鏡的振動(dòng)抑製(zhì)，並提高了係統(tǒng)對(duì)準的穩(wěn)定性(xìng)。
-掃(sǎo)描範圍0÷2.5μm，使用(yòng)可(kě)變(biàn)形(xíng)的(dí)平行四邊形掃描平台(tái)。
-儀(yí)器響(xiǎng)應函數的對(duì)比度高(gāo)於1010.
-掃(sǎo)描(miáo)期間最大(dà)鏡(jìng)麵傾斜度(dù)：10-8拉德。
-掃描(miáo)期(qī)間(jiān)的(dí)最(zuì)大抖(dǒu)動(dòng)：1Å。
-每個幹(gān)涉儀(yí)都配備(bèi)了遙控（粗(cū)）機械(xiè)和（精細(xì)）壓(yā)電(diàn)對準控製。
-綫性掃描：偏(piān)離綫(xiàn)性度(dù)最大(dà)值(zhí)10-4的掃描幅度。
-儀器(qì)的光(guāng)學板包(bāo)括(kuò)分析入射(shè)信(xìn)號束(shù)和(hé)將(jiāng)光(guāng)輸出到(dào)光檢測(cè)器所需(xū)的所(suǒ)有組(zǔ)件(jiàn)。
-選擇(zé)輸入和輸出針(zhēn)孔(kǒng)以(yǐ)匹(pǐ)配反射鏡間(jiān)距範圍(wéi)。儀器(qì)的輸(shū)入(rù)孔徑(jìng)為f/18。
-儀器配置(zhì)從(cóng)透射(shè)到反射的(dí)電(diàn)動切(qiē)換，以(yǐ)方(fāng)便對準。
-儀(yí)器的控製單(dān)元(yuán)提供(gōng)反(fǎn)射(shè)鏡的(dí)手動PZT對準控製，使(shǐ)用(yòng)參(cān)考激光束(shù)上(shàng)的(dí)反(fǎn)饋(kuì)回路(lù)進行長(cháng)時(shí)間穩定，輸(shū)入快門(mén)操(cāo)作(zuò)，可選的(dí)掃描(miáo)幅度，通(tōng)過串行(háng)接口進(jìn)行光(guāng)子輸(shū)出(chū)計(jì)數以(yǐ)及(jí)電(diàn)子(zǐ)遙控(kòng)功(gōng)能子集。可(kě)用的數據采(cǎi)集(jí)軟件提(tí)供遠程(chéng)交互(hù)功(gōng)能。
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更新時間：2024-01-24 
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