瑞士Admotec-Precision（簡稱Admotec）是精密磁傳感器與(yǔ)旋轉變壓器(qì)領(lǐng)域(yù)的製(zhì)造商，1987年成(chéng)立於(yú)瑞(ruì)士蘇(sū)黎世，核(hé)心技術為Rotasyn實心轉(zhuǎn)子無繞組旋轉變壓器，專注於(yú)工況下的高(gāo)精(jīng)度角度(dù)/位(wèi)置反饋(kuì)。
Admotec-Precision的RO係(xì)列(liè)（Rotasyn實(shí)心轉(zhuǎn)子(zǐ)旋(xuán)轉(zhuǎn)變壓器(qì)，非電力變壓(yā)器(qì)）在半導體行(háng)業的核(hé)心應(yīng)用，技(jì)術適配(pèi)點。
RO係列憑借無(wú)軸(zhóu)承(chéng)無(wú)框架(jià)+實(shí)心無繞(rào)組(zǔ)轉子+恒(héng)定氣隙+寬溫耐(nài)壓密封設計，適配半(bàn)導體製造的(dí)真空(kōng)，高(gāo)溫(wēn)，化(huà)學(xué)腐蝕(shí)，強EMI/等(děng)離(lí)子(zǐ)體，高速高精度定位(wèi)等ji端(duān)工(gōng)況(kuàng)。
核心應(yīng)用場景與推薦型號(hào)（優先(xiān)級(jí)排(pái)序）
1.光刻機（光(guāng)刻(kè)物鏡/晶(jīng)圓台/雙工(gōng)件(jiàn)台）
光刻物鏡調焦/調(tiáo)平電機角(jiǎo)度反饋(kuì)：RO2010（20mm定子(zǐ)，≤4mm軸徑），高(gāo)速(sù)微型，無接觸(chù)免(miǎn)維護，適(shì)配(pèi)真(zhēn)空(kōng)腔與(yǔ)高頻動態響應
晶(jīng)圓台(tái)/雙工件(jiàn)台旋轉軸定位：RO3620/RO5032，多極對版本提升(shēng)分辨(biàn)率(shuài)至±4弧分，配(pèi)合高帶寬RDC實現納(nà)米(mǐ)級(jí)角度閉(bì)環
物(wù)鏡(jìng)溫(wēn)控模塊閥門(mén)角度(dù)反饋(kuì)：RO2613，小型(xíng)化(huà)，介質(zhì)兼容，溫控(kòng)精(jīng)度輔助(zhù)至±0.1°C
2.刻(kè)蝕(shí)機(jī)（反應(yīng)腔/偏(piān)壓電(diàn)極/氣(qì)體(tǐ)閥(fá)門(mén)）
反應(yīng)腔(qiāng)高壓工(gōng)藝閥(fá)門(mén)角(jiǎo)度(dù)控製：RO5032-K（寬溫+鈦合(hé)金+高(gāo)壓(yā)密封），耐(nài)受1600bar，耐(nài)腐蝕性氣(qì)體（如CF4，SF6）
偏(piān)壓電極/靜(jìng)電卡盤（ESC）旋轉(zhuǎn)定(dìng)位(wèi)：RO3620，強EMI免疫，適(shì)配(pèi)等(děng)離子(zǐ)體環(huán)境
刻蝕腔(qiāng)清(qīng)潔機(jī)器人關(guān)節反(fǎn)饋：RO2010/RO2613，小型化，高(gāo)速(sù)，潔淨(jìng)室兼容
3.離(lí)子(zǐ)注入(rù)機(jī)/薄膜沉(chén)積（CVD/PVD/ALD）
離子(zǐ)束角(jiǎo)度(dù)與掃描機(jī)構(gòu)定(dìng)位(wèi)：RO3620，高(gāo)速高(gāo)精度(dù)，寬溫(wēn)，強EMI免疫(yì)
氣(qì)體流(liú)量/工(gōng)藝壓力(lì)閥門控(kòng)製：RO5032，油浸(jìn)/介質(zhì)兼(jiān)容，無(wú)密(mì)封(fēng)設(shè)計，降低(dī)維(wéi)護成本
沉積腔旋轉工(gōng)作台(tái)角(jiǎo)度反饋：RO6040，中(zhōng)型(xíng)定子，適(shì)配(pèi)重載與(yǔ)高精度閉(bì)環
4.晶(jīng)圓傳輸與(yǔ)自動化（機械臂/EFEM/AMHS）
晶(jīng)圓傳輸(shū)機器人(rén)關(guān)節電(diàn)機(jī)角度(dù)反饋：RO2010/RO2613，低慣性(xìng)，高(gāo)速(sù)，小型化(huà)，適(shì)配(pèi)潔淨(jìng)室與(yǔ)頻繁(fán)啟停
真空EFEM（設備(bèi)前端模(mó)塊(kuài)）旋轉軸定位：RO3620，無(wú)軸承(chéng)無(wú)框架，真空兼容，密封電纜(lǎn)
RO係(xì)列(liè)旋(xuán)轉變壓器(qì)在(zài)機械(xiè)和電氣上(shàng)與(yǔ)傳統無刷(shuā)旋轉(zhuǎn)變壓(yā)器兼容，可(kě)以方便地(dì)替(tì)換原始(shǐ)設備(bèi)或現(xiàn)有(yǒu)設備中的(dí)傳感器，實現設備(bèi)升級(jí)。同時(shí)，AdmotecPrecision還提供定製(zhì)化服(fú)務(wù)，可(kě)根據半導體製造設(shè)備的(dí)特定需求，設(shè)計不(bù)同(tóng)尺寸，繞(rào)組特性(xìng)，高(gāo)溫(wēn)/高輻射(shè)絕(jué)緣(yuán)材料(liào)（如(rú)Kapton），更大氣隙等定(dìng)製(zhì)產品，滿(mǎn)足(zú)特(tè)殊應用場景的需(xū)求。
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更新(xīn)時間：2026-01-12 
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