PI高負(fù)載物(wù)鏡(jìng)掃描(miáo)儀PIFOC係(xì)列(liè)

PI高負載物鏡掃(sǎo)描儀PIFOC係列
PI PIFOC係(xì)列(liè)的壓電撓(náo)性平台(tái)和物(wù)鏡(jìng)掃(sǎo)描(miáo)儀在定(dìng)位(wèi)和掃描任(rèn)務中提供高(gāo)動(dòng)態性。用(yòng)於(yú)平行和垂(chuí)直於(yú)光軸(zhóu)的(dí)XY試樣定(dìng)位以及(jí)物(wù)鏡(jìng) Z 聚(jù)焦的(dí)良好適配解決方(fāng)案可作為(wéi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品(pǐn)提(tí)供(gōng)。

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更新時(shí)間(jiān)：2025-09-08
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PI高(gāo)負(fù)載(zǎi)物鏡(jìng)掃(sǎo)描(miáo)儀PIFOC係(xì)列

PI PIFOC係列(liè)的壓電(diàn)撓性平台(tái)和(hé)物(wù)鏡(jìng)掃描儀在(zài)定位和掃(sǎo)描任(rèn)務(wù)中(zhōng)提供(gōng)高(gāo)動(dòng)態(tài)性。用(yòng)於平(píng)行和垂(chuí)直(zhí)於光(guāng)軸(zhóu)的(dí)XY試樣定(dìng)位以及物(wù)鏡Z 聚焦的(dí)良好適配解決方(fāng)案可(kě)作為標(biāo)準產品提(tí)供(gōng)。與控製器和所有必(bì)需的連(lián)接電纜和軟件(jiàn)一(yī)起的係統(tǒng)中也可(kě)以(yǐ)方便(biàn)地使(shǐ)用階段(duàn)。與所有(yǒu)壓(yā)電係(xì)統(tǒng)一樣，顯(xiǎn)微鏡(jìng)載物台(tái)和(hé)掃(sǎo)描儀在交(jiāo)付時都經過測量日(rì)誌預先校準。

用(yòng)於重型(xíng)物鏡的長(cháng)行(háng)程高動(dòng)態掃(sǎo)描(miáo)係(xì)統

-大目標的(dí)高動態定位(wèi)和掃描

-諧振(zhèn)頻率(shuài)1120Hz；560Hz，210g物鏡(jìng)質量

-類型(xíng)步(bù)進和穩定(dìng)約 6 ms

-行程(chéng)100 µm

-由(yóu)於直(zhí)接測量電容(róng)式傳(chuán)感(gǎn)器，具有高的綫(xiàn)性度，穩定性(xìng)和控製(zhì)動態(tài)

-分(fēn)辨率(shuài) 0.3 納(nà)米(mǐ)

-零(líng)間隙(xì)，高(gāo)精度(dù)彎曲(qū)導(dǎo)向係(xì)統，可實現(xiàn)更好(hǎo)的對焦穩定(dìng)性(xìng)

帶(dài)電容式傳感(gǎn)器(qì)的(dí)亞納米分(fēn)辨率

電容(róng)式傳感器以(yǐ)亞(yà)納(nà)米分辨率進(jìn)行(háng)測量，無需(xū)接(jiē)觸。它(tā)們(mén)保(bǎo)證(zhèng)的運(yùn)動綫(xiàn)性度(dù)，長期(qī)穩定性和(hé)kHz範圍(wéi)內的帶寬。

自動配置和快速(sù)組(zǔ)件(jiàn)更(gēng)換(huàn)

機(jī)械(xiè)和(hé)控(kòng)製器可以根據(jù)需要組(zǔ)合並(bìng)快速更(gēng)換。所(suǒ)有伺服(fú)和(hé)綫性(xìng)化參(cān)數都存(cún)儲在機械(xiè)裝(zhuāng)置D-sub連接(jiē)器(qì)的(dí)ID芯片中(zhōng)。每(měi)次打開(kāi)控製器時(shí)，數(shù)字控製器的自(zì)動校(xiào)準(zhǔn)功能都(dū)會(huì)使用此數據。