德(dé)國(guó)Phytron步(bù)進電機
Phytron步進電(diàn)機(jī)是(shì)德國(guó)Phytron公司生產的(dí)高性能(néng)，高(gāo)精(jīng)度(dù)步(bù)進電(diàn)機，具(jù)有多(duō)種型(xíng)號和(hé)特(tè)性，適用(yòng)於(yú)各種需(xū)要精(jīng)確(què)控(kòng)製和定位的場(cháng)合。
一，技(jì)術特點(diǎn)
高精(jīng)度(dù)：Phytron步(bù)進(jìn)電(diàn)機采(cǎi)用精(jīng)密(mì)加工和超精密磨(mó)削(xiāo)技術，步進角(jiǎo)誤(wù)差(chà)小(xiǎo)，可(kě)實(shí)現高(gāo)精度的(dí)定位和運動控(kòng)製。例如，VSH-80步(bù)進(jìn)電(diàn)機的步(bù)距角為(wéi)1.8°，分辨率高達(dá)6000步(bù)/轉。
高轉(zhuǎn)矩(jǔ)：Phytron步進(jìn)電機具(jù)有(yǒu)較(jiào)大的輸出力(lì)矩，能夠滿足各(gè)種高負(fù)載(zǎi)應(yīng)用的(dí)需求。例如(rú)，ESS電機最大力矩(jǔ)為(wéi)3.5Nm，ESH電(diàn)機(jī)大(dà)力矩為(wéi)7Nm。
高速(sù)：Phytron步(bù)進(jìn)電機具有(yǒu)較高(gāo)的(dí)啟(qǐ)動(dòng)和(hé)運行速度，能夠(gòu)在短時(shí)間內實現精(jīng)確(què)的定(dìng)位和控製。例如，ESS電機(jī)大轉(zhuǎn)速為3000轉(zhuǎn)/分鐘(zhōng)，ESH電機大轉速為1500轉(zhuǎn)/分(fēn)鐘。
長(cháng)壽(shòu)命(mìng)：采(cǎi)用(yòng)優質材料(liào)和精(jīng)密製造(zào)工(gōng)藝，確保了電(diàn)機(jī)的長(cháng)壽(shòu)命(mìng)和可靠(kào)性(xìng)。
易(yì)於控(kòng)製：Phytron步進電(diàn)機可采用(yòng)開環或閉環控製方式，方便(biàn)用(yòng)戶(hù)根據實際(jì)需求(qiú)進(jìn)行(háng)選擇(zé)。同時，電機驅動(dòng)器(qì)可(kě)接收脈衝信(xìn)號或模擬(nǐ)信(xìn)號(hào)輸入，實(shí)現(xiàn)電機(jī)的速度(dù)和(hé)位置控(kòng)製。
良(liáng)好(hǎo)的兼(jiān)容性(xìng)：Phytron步(bù)進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動器和(hé)控製(zhì)器(qì)可與(yǔ)多(duō)種(zhǒng)主(zhǔ)流品牌(pái)的(dí)PLC和(hé)運動控製器兼(jiān)容，方便用戶(hù)進行集(jí)成和控製。
二(èr)，產品係列與型(xíng)號
Phytron步進電(diàn)機擁有(yǒu)多個係列和(hé)型(xíng)號(hào)，以滿足不(bù)同用戶的需(xū)求。以(yǐ)下是(shì)一(yī)些常見的(dí)係列(liè)和型號：
ESS/ESH係(xì)列：高性能(néng)，高(gāo)品(pǐn)質的(dí)步(bù)進(jìn)電機產(chǎn)品，適(shì)用於各種需(xū)要精確(què)控(kòng)製和(hé)定位的場合。ESS電(diàn)機(jī)步進角為(wéi)7.5°，ESH電(diàn)機(jī)步進(jìn)角(jiǎo)為15°。
VSHE-FV-8L係(xì)列：采用(yòng)雙極(jí)性(xìng)連接(jiē)，額定(dìng)電(diàn)壓(yā)為(wéi)230V，額定(dìng)電流為(wéi)39A。步進角(jiǎo)為(wéi)1.8°，可通過微步(bù)進技(jì)術實(shí)現更高的(dí)分辨率(shuài)。
ZSH87/1係(xì)列：永磁(cí)式(shì)步(bù)進電機，采(cǎi)用高性能的釹(nǚ)鐵硼磁鋼和優(yōu)質(zhì)矽鋼(gāng)片，具(jù)有(yǒu)高扭(niǔ)矩，高(gāo)精(jīng)度，低慣量(liáng)和低(dī)噪音等(děng)優(yōu)點。
PhySPACE25係列(liè)：體積小(xiǎo)，重量輕(qīng)，便於在空間有(yǒu)限(xiàn)的場(cháng)合(hé)安裝(zhuāng)和使(shǐ)用(yòng)。同時，它還具(jù)有高(gāo)精(jīng)度，高扭矩(jǔ)和(hé)低噪(zào)音等特點。
ZSS/ZSH係(xì)列：兩相(xiāng)混合式步進(jìn)電機，支持(chí)單極(jí)，雙極控(kòng)製，保持(chí)力矩(jǔ)從(cóng)3.8-700mNm，法(fǎ)蘭(lán)尺(chǐ)寸從19-56mm。
半導(dǎo)體(tǐ)製造：真空/潔(jié)淨環(huán)境下的(dí)納米(mǐ)級定位
Phytron真(zhēn)空(kōng)係(xì)列(liè)電機（VSS/VSH）適(shì)配(pèi)10⁻⁹mbar超高(gāo)真(zhēn)空與Class1潔淨(jìng)室，是(shì)晶(jīng)圓處理(lǐ)，光刻，蒸鍍/刻蝕的核心(xīn)驅動部(bù)件。
關(guān)鍵(jiàn)應(yīng)用：晶圓載台(tái)對準(zhǔn)（±0.1μm/s平(píng)移，納米級(jí)定位(wèi)），光(guāng)刻(kè)物(wù)鏡校準(zhǔn)，真空(kōng)蒸鍍靶(bǎ)材平移(yí)（±1μm精(jīng)度），刻蝕(shí)腔室(shì)樣品(pǐn)台驅(qū)動，CVD/PVD設備(bèi)的晶(jīng)圓搬運。
核心(xīn)型號：VSS係(xì)列(liè)（真(zhēn)空(kōng)兼容(róng)），Lithotec®配(pèi)套驅(qū)動電(diàn)機(jī)（與(yǔ)光刻機同(tóng)源(yuán)材(cái)料適配）。
技術(shù)價值(zhí)：耐(nài)-196℃~+125℃寬溫(wēn)，無油(yóu)潤滑適配(pèi)高潔(jié)淨，保(bǎo)障(zhàng)5nm及以(yǐ)下製程良品率。
德國(guó)Phytron步(bù)進電機(jī)
2022-12-24
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